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Parylene适用于传感器、换能器

自动化控制和恶劣环境下使用的传感器、换能器,用很薄的Parylene涂层防护可以提高环境适应性和可靠性。使用环境包括淡水、海水、炼油厂、化工厂、血液和体液以及辐射环境等。由于很薄的Parylene薄膜涂层就能对器件提供有效防护,对传感器的灵敏度影响很小。国外已有四千万种以上各种传感器用Parylene防护,可用于微波、射频、声学、压电、辐射、化学、温度等各种传感器。其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学用传感器等。经Parylene封装的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作,采用Parylene封装防护甚至还可以开发能够在液氮中使用的微电子器件。

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